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未来を創る科学者達（40）フォトレジスト〜物理の限界を超えたケミストリマジック〜小久保忠嘉

2003.11.01

再生時間：29分

制作年度：2003年

概要

富士フィルムアーチの小久保忠嘉さんは、半導体を製造するために必要なフォトレジスト剤の開発をしています。半導体の製造にはリソグラフィーと呼ばれる印刷技術が利用され、シリコン基板の上に凹凸が刻まれることでCPU等の半導体が出来上がります。この凹凸をつけるために必要なのがフォトレジスト剤です。半導体の製造技術は年々細密化しているので、微細な範囲でも反応できるようなフォトレジスト剤の開発が日夜行われています。