08月22日 ウェルプレート毎の培養細胞をリアルタイム、かつ一括でモニタリングできる装置の実用試験を開始
07月31日 品質・欠陥検査用光源ユニットの新ブランドを立ち上げ
07月17日 ウシオ電機、EUVリソグラフィマスク検査用EUV光源を量産プロセス向けとして初検収
06月10日 小型吸光度計「PiCOSCOPE®」生産終了のご案内
06月03日 フレキブルデバイス向けVUVアライナー エントリーモデルの販売を開始